极紫外光刻

  • 打破ASML垄断!神秘公司宣布光刻新技术:号称可媲美EUV光刻机

    电脑知识网11月2日消息,美国半导体初创企业Substrate近期抛出重磅消息,宣称已研发出基于X光的新型曝光技术,其解析度能与荷兰ASML最先进的EUV光刻机匹敌,而后者单台造价就超过4亿美元。 Substrate还明确将在美国自建晶圆代工厂,直接瞄准台积电在AI芯片代工领域的主导地位,意图与ASML、台积电形成双重竞争。 从技术细节来看,Substrat…

    2025-11-02
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  • EUV工艺功臣要去Intel 台积电发愁:若美国介入很难办

    电脑知识网11月1日消息,前几天网络曝出台积电21年资深高管罗唯仁要跳槽去Intel公司的消息,虽然他已经于7月份从台积电退休,但此事依然引发业界关注。 究其原因,就是罗唯仁虽然已经是75岁高龄,但他的地位和经验依然很重要,跳槽去了与台积电有竞争的公司,而且还是美国半导体巨头,这会让台积电相当难办。 罗唯仁早在1996年就是Intel工艺研发的骨干之一,20…

    2025-11-01
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  • 半导体巨头EUV光刻机数量曝光:台积电唯一过百 日本2nm公司醒目

    电脑知识网9月29日消息,半导体工艺越先进,对光刻机的需求就越高,5nm以下量产更少不了EUV光刻机,目前全球只有ASML公司能供应,台积电、三星、Intel等公司都会向他们下降。 那么这些巨头中谁拥有的EUV光刻机最多呢?调研机构BOFA公布了2021到2025年为止的EUV光刻机数量,如下所示: 作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂,台积电这几年…

    2025-09-29
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  • 全国首个MOR核心技术 国产EUV光刻胶启动

    电脑知识网9月8日消息,EUV光刻机是制造5nm以下工艺的关键设备,同样重要的还有EUV光刻胶,现在无锡宣布国内首个掌握EUV光刻胶核心技术的平台启动了。 来自无锡政府网站的消息,9月4日2025集成电路(无锡)创新发展大会开幕。 本次大会上宣布了多个重磅项目,除了算力平台外,还有2个值得关注的——无锡先进制程半导体纳米级光刻胶中试线…

    2025-09-08
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  • 清华大学官宣!EUV光刻胶材料取得重要进展

    电脑知识网7月24日消息,据清华大学官网介绍,日前,清华大学化学系许华平教授团队在极紫外(EUV)光刻材料上取得重要进展,开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶,为先进半导体制造中的关键材料提供了新的设计策略。 随着集成电路工艺向7nm及以下节点推进,13.5nm波长的EUV光刻成为核心技术。 但EUV光源反射损耗大、亮度低,对光刻胶在吸收效率、反应机制和缺陷控…

    2025-07-24
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  • High-NA EUV遇冷!晶圆厂减少依赖:推迟导入时间

    电脑知识网7月2日消息,据媒体报道,2023年末ASML向英特尔交付了首台High-NA EUV光刻机,业界普遍认为,High-NA EUV光刻技术将在先进芯片开发和下一代处理器的生产中发挥关键作用。 不过这种情况最近似乎发生了变化,各个晶圆代工厂都在减少对High-NA EUV依赖,并且延后引入新技术的时间。 近日投资机构下调ASML目标股价,从每股795…

    2025-07-02
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  • 另辟蹊径!不用EUV光刻机也能做出5nm

    电脑知识网5月30日消息,大家都知道,当下先进工艺(尤其是7nm以下),基本都依赖ASML的EUV极紫外光刻机。 按照传统认知,没有EUV就造不出先进工艺,那有没有其他办法呢。 前段时间,世界上就有一种“特殊”5nm的消息传出,它是怎么来的呢? 有报道称,这种5nm采用了完全不一样的技术路线,避开了EUV光刻机的依赖,采用一种步进扫描…

    2025-05-30
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  • Intel前CEO基辛格找到新工作:开发FEL EUV极紫外光刻 成本大降2/3

    电脑知识网4月14日消息,Intel前任CEO帕特·基辛格已经找到了新工作!本人亲自宣布,已经加盟xLight担任执行董事长。 xLight是一家半导体行业创业公司,主要业务室面向EUV极紫外光刻机,开发基于直线电子加速器的自由电子激光(FEL)技术光源系统,可显著降低成本。 目前的ASML EUV光刻机使用的是激光等离子体EUV光源(LPP)…

    2025-04-14
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  • 日本提出EUV光刻新方案:光源功率可降低10倍、成本将大幅下降!

    8月7日消息,近日日本冲绳科学技术大学(OIST)的Tsumoru Shintake教授带领的研究团队提出了一项全新、大幅简化的面向极紫外(EUV)光刻机的双反射镜系统。 相比传统的至少需要六面反射镜的配置,新的光学投影系统仅使用了两面反射镜,在确保系统维持较高的光学性能的同时,能让EUV光线以超过初始值10%的功率到达晶圆,相比传统系统中仅1%的功率来说,…

    2024-08-12
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  • 价值3.83亿美元!Intel拿下全球第二台High NA EUV光刻机

    叮当号8月6日消息,在近日的财报电话会议上,Intel CEO宣布已成功接收全球第二台价值3.83亿美元的High NA EUV(极紫外光刻机)。 High NA EUV光刻机是目前世界上最先进的芯片制造设备之一,其分辨率达到8纳米,能够显著提升芯片的晶体管密度和性能,是实现2nm以下先进制程大规模量产的必备武器。 帕特·基辛格表示,第二台Hi…

    2024-08-06
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