纳米制造
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上海交通大学在Advanced Functional Materials发表集成纳米间隙的纳米环光学天线晶圆级制造新进展
近日，上海交通大学集成电路学院微米纳米加工技术国家级重点实验室臧法珩副教授团队在纳米制造领域取得了重大突破，相关研究成果以“基于窄间隙集成环形阵列的超高场增强光学谐振腔”为题，发表在国际知名期刊《advanced functional materials》上（adv. funct. mater. 2025, 35, 2417739）。 研究背景 纳米光子学器…
