北方华创

天眼查数据表明，北京北方华创微电子装备有限公司成功公布了“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”专利，公布日期为2025年2月14日，公布号为cn118431057a。 该专利公开了一种用于半导体领域的半导体工艺腔室及半导体工艺设备。该半导体工艺腔室包括腔体、承载组件和连接组件。承载组件由多个第一承载件和多个第二承载件组成，其中一个第一承载件与相邻的第二承载件间隔…